​一、三次元精度调整机械部件调整法
工作台平面度调整：
要点：通过使用水平仪检查三次元测量仪的工作台平面度。如果发现工作台平面不平整，三次元精度调整工作台底部的支撑脚。这些支撑脚通常具有可调节高度的装置，通过旋转调节螺母，使工作台达到所需的平面度。例如，对于大理石工作台，要求平面度误差在一定范围内，如每米长度内不超过 0.02mm。
原因：工作台平面度是影响测量精度的基础因素。不平整的工作台会导致放置在上面的被测物体放置不稳，从而在测量过程中引入误差。特别是在测量高精度的平面尺寸或高度差时，精确的工作台平面度至关重要。
导轨直线度与平行度调整：
要点：对于三次元的移动导轨，需要保证其直线度和相互之间的平行度。可使用激光干涉仪来检测导轨的直线度。如果发现直线度偏差，通过调整导轨的安装位置或使用专用的导轨调整装置进行修正。对于导轨之间的平行度，可使用千分尺等量具，在导轨的不同位置进行测量，根据测量结果调整导轨的间距，使它们达到平行状态。
原因：导轨是测量探头移动的基准，直线度和平行度不佳会导致探头在移动过程中产生偏移，使得测量路径与设计路径不一致，从而产生测量误差。在进行三维空间测量时，精确的导轨状态能够保证探头准确地到达测量点，提高测量精度。
轴系垂直度调整：
要点：三次元测量仪的 X、Y、Z 轴之间的垂直度对测量精度有很大影响。通常采用直角尺或光学直角仪来检查轴系的垂直度。如果垂直度不符合要求，可通过调整轴系的安装支架或旋转轴的角度来进行修正。在调整过程中，需要反复测量和调整，以达到最佳的垂直度状态。
原因：轴系垂直度误差会导致在不同轴向上的测量转换出现偏差。例如，在进行空间两点之间的距离测量时，如果轴系不垂直，会使计算出的距离与实际距离产生较大差异，尤其在测量复杂的三维几何形状时，这种误差会更加明显。
二、软件补偿法
温度补偿：
要点：三次元测量仪的精度会受到环境温度的影响。现代的三次元测量仪通常配备有温度传感器，通过软件中的温度补偿算法来修正测量误差。该算法基于测量仪的材料热膨胀系数和实际测量的温度变化，对测量结果进行动态调整。例如，当环境温度升高时，测量仪的金属部件会膨胀，软件会根据预先设定的膨胀系数，对测量的尺寸进行相应的缩小补偿。
原因：材料的热胀冷缩特性会导致测量仪的结构尺寸发生变化，从而影响测量精度。不同的材料具有不同的热膨胀系数，温度补偿软件能够有效降低这种因温度变化引起的测量误差，使测量结果更加准确。
几何误差补偿：
要点：通过对测量仪进行精确的几何误差检测，如使用激光跟踪仪等设备，获取各个轴的几何误差参数，然后将这些参数输入到软件的误差补偿模块中。在测量过程中，软件根据当前探头的位置和预先获取的误差参数，对测量结果进行实时补偿。例如，对于 X 轴的直线度误差，软件会根据 X 轴的实际位置和误差曲线，对该位置的测量值进行修正。
原因：即使经过机械部件的调整，测量仪仍然会存在一定的几何误差，这些误差包括直线度、平面度、垂直度等方面的微小偏差。软件补偿法能够进一步提高测量精度，尤其是在高精度测量任务中，对这些微小误差的修正能够显著提高测量结果的可靠性。
三、探头校准法
探头半径补偿：
要点：对于接触式探头，由于探头具有一定的半径，在测量时需要进行半径补偿。通过使用标准球等已知尺寸的校准工具，对探头进行校准，获取探头半径。在测量过程中，软件根据探头的接触点和半径值，计算出被测物体表面的实际位置。例如，在测量一个平面上的轮廓时，探头接触到轮廓边缘时，软件会根据探头半径，将测量点的位置向内偏移一个半径的距离，从而得到物体表面的真实轮廓。
原因：如果不进行探头半径补偿，测量得到的尺寸会比实际尺寸大一个探头直径的量，这会导致测量结果的严重偏差。尤其是在测量复杂的几何形状，如曲线、曲面等时，探头半径补偿是保证测量精度的关键步骤。
探头精度校准：
要点：定期使用高精度的校准块对探头的精度进行校准。校准块具有精确的尺寸和形状，通过让探头在校准块上进行测量，并将测量结果与校准块的标准值进行对比，调整探头的测量参数，使探头的测量精度保持在规定的范围内。例如，对于高精度的红宝石探头，每月可能需要进行一次精度校准，以确保其测量误差在 ±0.001mm 以内。
原因：探头在长期使用过程中，由于磨损、碰撞等原因，其精度会逐渐下降。定期校准探头能够及时发现并修正精度下降的问题，保证探头的测量准确性，从而提高整个三次元测量仪的测量精度。