影像三次元测量仪作为精密测量仪器的一种。保养是三次元使用过程中必有的一个课程，对影像三次元测量仪进行正确的保养，不仅可以保证测量仪的测量精度，而且可以适当的延长测量仪的使用寿命。对影像三次元测量仪的保养，从实质上来说，就是对测量仪每个部件进行保养。

影像三次元测量仪的传动部分，分为干磨擦部分及润滑部分，干磨擦部分又有气浮轴承及无牙丝杆传动机构之区分，在测量中要注意保养。
影像三次元测量仪的保养步骤：

1. 先用干细棉布或擦拭纸擦拭磨擦表面，以擦拭其灰尘或油污等。

2. 也可使用吹气壶，将灰尘吹掉。

3. 必要时，可再用干净细干棉布沾上工业用酒精或高级润滑油，擦拭磨擦表面。

影像三次元测量仪润滑部分保养步骤：

1. 先用细棉布将灰尘擦拭干净。

2. 润滑部分再加入润滑机油、或由黄油枪加入。