​高精密测量仪器是为了取得目标物某些属性值而进行衡量所需要的第三方标准，测量仪器一般都具有刻度，容积等单位。

高精密测量仪器的概念其基本内容包括：精度、误差、测量标准器材、长度测量、角度测量、形状测量、传统光学仪器。在精密测量上的应用等等。
高精密测量仪器有接触试和光学试测量两种（用的最多） 接触试：一般测量工具和3D测量工具（三坐标测量机又叫三次元）三坐标测量机又叫三次元 ，它可以测量很多复杂的空间尺寸：如模具和汽车产品。