三次元测量仪器主要是指通过三维取点来进行测量的一种仪器，市场上也有叫三坐标，三坐标测量机，三维坐标测量仪，三次元。

一般区分为滚珠线性滑轨及气浮滑轨两种，滚珠线性滑轨的干涉及变形较大，比较少使用在大型机台；现今的主流为气浮滑轨，其原理为压缩空气在空气轴承与轨道间形成一个几微米 ( um ) 低摩擦力及低阻力的空气层，也就是说空气轴承会浮在轨道上，这时便可轻易移动。

传动方式分手动、马达传动两种。一般有三种机型区分：
1、手动量测　直接拉著Z轴或人工旋转手轮来移动。
2、电控量测　移动轴安装马达，利用摇杆或电子手轮来控制移动。
3、CNC ( DCC) 自动量测　移动轴均安装伺服马达，并利用电控系统，在程式指令下可自动量测。