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三次元仪器测量显微镜有哪些分类优点？

文章出处：新闻资讯责任编辑：东莞市精丰测量仪器有限公司发表时间：2020-08-13

　　测量显微镜是采用用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录像磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试仪器。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。那么三次元仪器测量显微镜有哪些分类优点？

1、光学测量显微镜

采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。主要运用于录像磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。

主要优点：工作台除作X、Y坐标的移动外，还可以作360度的旋转，是一种理想的固定场所小型精密测量仪器。

2、数码测量显微镜

一种将将显微镜看到的实物图像通过数模转换，使其成像在显微镜自带的屏幕上或计算机上的显微镜设备。特别适用于制造业、精密零件以及不方便移动的物件的观察测量。广泛地适用于生产作业线及科学研究等部门。

主要优点：小巧便携，只需一台计算机就可以直观的观测微观放大图像，进行精确数据测量、拍照备份图片及数据资料;还可以根据客户需要定制特种光源（荧光、红外）用于特殊场所观测。数码测量显微镜几年来得到广泛的普及使用，已成为一种可靠实用的精密测量仪器。

3、Z轴非接触式

以裂像聚焦指示器为测量原理, 采用高精度光学聚焦点检测方式进行非接触高低差测量。不仅可以对准目标影像, 还能观察测量点的表面状态,对高度,深度,高低差等进行测量。本仪器的各种镜筒还具有明暗场，微分干涉，金相，偏光等多种观察功能。所以对极细微的间隙高低差，夹杂物、微米以下的突起、细微划痕、以及金相组织进行观察。

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