三次元检测的原理是将被测物体置于三坐标测量空间，可获得被测物体上各测点的坐标位置，根据这些点的空间坐标值，经计算求出被测物体的几何尺寸，形状和位置。它可以测量被测物的同心度，平行度，平面度，同轴度，位置度，垂直度等几何形位公差。

直线度：直线度是表示零件上的直线要素实际形状保持理想直线的状况。也就是通常所说的平直程度。直线度公差是实际线对理想直线所允许的变动量。也就是在图样上所给定的，用以限制实际线加工误差所允许的变动范围。

平面度：平面度是表示零件的平面要素实际形状，保持理想平面的状况。也就是通常所说的平整程度。平面度公差是实际表面对平面所允许的变动量。也就是在图样上给定的，用以限制实际表面加工误差所允许的变动范围。

圆度：圆度是表示零件上圆的要素实际形状，与其中心保持等距的情况。即通常所说的圆整程度。圆度公差是在同一截面上，实际圆对理想圆所允许的变动量。也就是图样上给定的，用以限制实际圆的加工误差所允许的变动范围。

圆柱度：圆柱度是表示零件上圆柱面外形轮廓上的各点，对其轴线保持等距状况。圆柱度公差是实际圆柱面对理想圆柱面所允许的变动量。也就是图样上给定的，用以限制实际圆柱面加工误差所允许的变动范围。

线轮廓度：线轮廓度是表示在零件的给定平面上，任意形状的曲线，保持其理想形状的状况。线轮廓度公差是指非圆曲线的实际轮廓线的允许变动量。也就是图样上给定的，用以限制实际曲线加工误差所允许的变动范围。
面轮廓度：面轮廓度是表示零件上的任意形状的曲面，保持其理想形状的状况。面轮廓度公差是指非圆曲面的实际轮廓线，对理想轮廓面的允许变动量。也就是图样上给定的，用以限制实际曲面加工误差的变动范围。

平行度：平行度是表示零件上被测实际要素相对于基准保持等距离的状况。也就是通常所说的保持平行的程度。平行度公差是：被测要素的实际方向，与基准相平行的理想方向之间所允许的变动量。也就是图样上所给出的，用以限制被测实际要素偏离平行方向所允许的变动范围。

垂直度：垂直度是表示零件上被测要素相对于基准要素，保持正确的90°夹角状况。也就是通常所说的两要素之间保持正交的程度。垂直度公差是：被测要素的实际方向，对于基准相垂直的理想方向之间，所允许的变动量。也就是图样上给出的，用以限制被测实际要素偏离垂直方向，所允许的变动范围。

倾斜度：倾斜度是表示零件上两要素相对方向保持任意给定角度的正确状况。倾斜度公差是：被测要素的实际方向，对于基准成任意给定角度的理想方向之间所允许的变动量。

对称度：是表示零件上两对称中心要素保持在同一中心平面内的状态。对称度公差是：实际要素的对称中心面(或中心线、轴线)对理想对称平面所允许的变动量。该理想对称平面是指与基准对称平面(或中心线、轴线)共同的理想平面。

同轴度：同轴度是表示零件上被测轴线相对于基准轴线，保持在同一直线上的状况。也就是通常所说的共轴程度。同轴度公差是：被测实际轴线相对于基准轴线所允许的变动量。也就是图样上给出的，用以限制被测实际轴线偏离由基准轴线所确定的理想位置所允许的变动范围。