蔡司三次元测量仪属于高精度测量仪器，其测量精度受多种情况影响。越来越多的厂家在生产中使用三坐标测量仪，在要求精密测量的过程中，但也会有很多因素会在测量过程中产生误差。一般三坐标测量仪在测量过程中出现误差有以下几种原因。

1、三坐标本身误差

由于三坐标测量仪本身及其附件所引入，出于仪器的电气或机械性能不完善所产生的误差。比如：电桥中的标准电阻，示波器的探极线等都含有误差。仪器，仪表的零位偏移，刻度不准确，以及非线性等引起的误差均属于仪器误差。

2、人为误差

在三次元测量仪使用过程中肯定是需要人为的控制的，可是人不可避免会有一些的操作误差，特别是在使用手动型三坐标测量仪时，因为测量过程需要人工的手动移动，难免会有些误差。而且这个误差与操作人员的熟练程度有很大的影响。
3、坏境误差

由湿度、温度、气压、声音、震动、光、放射性等影响所造成的误差。

4、操作误差

使用蔡司三次元测量仪过程中，因安装、调节、布置、使用方法不对而导致的误差。

5、方法误差

由于对三次元测量仪的测量理论掌握不熟练，导致一些测量方法用的不正确也可能造成误差。

所以，我们在使用蔡司三次元测量仪的过程中，注意以上五个方面，尽量减少三坐标测量仪的测量误差，从而确保其测量精度。